W sprzęcie przemysłu półprzewodnikowego, stopione szkło krzemianowe jest często stosowane w wysokich temperaturach od 1000°C do 1300°C. W takich warunkach,dewitryfikacja występuje z powodu przyczepności zanieczyszczeńDewitryfikowane części to krystalizowane obszary stopionej krzemionki, a punkt transformacji krystalizacji wynosi 275°C.Kiedy stopione szkło krzemianowe jest chłodzone z wysokich temperatur do tej temperatury transformacji, krystalizowana warstwa dewitryfikowana na powierzchni ma inny współczynnik rozszerzenia termicznego niż wysoko-temperaturowa faza α i niskotemperaturowa faza β samego stopionego szkła krzemianowego.Wynika z tego nieprzezroczystaW przypadku szybkiego chłodzenia występuje łuszczenie; w cięższych przypadkach może wystąpić pękanie.
Aby wydłużyć żywotność produktów z roztopionego krzemionu, niezbędne jest zapobieganie przyczynom dewitryfikacji.metali ziem alkalicznychNawet poziom zanieczyszczenia wynoszący 0,1 mg/cm2 może powodować dziesięciokrotny, a nawet setnokrotny wzrost dewitryfikacji.w celu zapobiegania przyklejaniu się tych zanieczyszczeń do powierzchni stopionej krzemionkiPonadto przed operacjami w wysokich temperaturach należy dokonać gruntownego czyszczenia, aby zapewnić czystość powierzchni stopionej krzemionki.
Ogólne czyszczenie stopionej krzemionki stosuje się zgodnie z ustaloną procedurą: najpierw płuka się powierzchnię czystą wodą, następnie zanurza się ją w kwasie na określony czas, usuwa się, ponownie płuka się czystą wodą,i wreszcie wysuszyć na powietrzuRodzaje roztworów kwasowych są następujące:
| Kategoria/pozycja | Koncentracja | Czas |
|---|---|---|
| Kwas fluorowodorowy (HF) | 470,0% ~ 52,0% | 1 ~ 2 minuty |
| Kwas fluorowodorowy (HF) | 50,0% ~ 10% | 10 ~ 15 minut |
| Kwas fluorowodorowy + kwas azotowy | 50% + 65% | 10 ~ 15 minut |
| Kwas fluorowodorowy + kwas siarkowy | 50% + 65% | 10 ~ 15 minut |