Standardowy wymiar szklanej arkuszy kwarcowej Ultra wysoka płaskość dla 9 cali wafer

9-calowa kalibracja płytki szklanej kwarcowej o bardzo wysokiej płaskości

Ta 9-calowa płytka szkła kwarcowego kalibracji płytki jest wysokiej precyzji półprzewodnikowego wyposażenia kalibracji standard.spełnia standardowe specyfikacje 9-calowej płytki do codziennej weryfikacji sprzętu w litografii, sonda, inspekcja AOI i zastosowania metrologiczne optyczne.

Parametry produktu

Kluczowe cechy

• Ultrawysoka płaskość Precyzyjnie wypolerowana powierzchnia o bardzo ciasnej tolerancji płaskości, zapewniająca niezawodne wyniki kalibracji urządzeń półprzewodnikowych.
• Jednorodne właściwości optyczne¢ Konsekwentna transmisja optyczna na całej powierzchni płyty, idealna do kalibracji systemu AOI i systemu inspekcji opartej na widowisku.
• Niski poziom stresu wewnętrznegoOgraniczona deformacja termiczna i deformacja wywołana naprężeniem, utrzymując stabilność wymiarową w różnych warunkach środowiskowych.
• Odporność na czyszczenie chemiczneOporność na standardowe środki czyszczące półprzewodniki, zachowanie jakości powierzchni po wielokrotnych cyklach czyszczenia.
• Stabilność długoterminowa Dedykowany standard kalibracji przeznaczony do wielokrotnego codziennego użytkowania bez degradacji precyzji w czasie.

Wnioski

1Inspekcja płyt półprzewodnikowych

Główna tablica odniesienia do 9-calowej wymiary płytki, płaskości i inspekcji warp. Służy jako codzienny standard kalibracji dla optycznego sprzętu inspekcji płytki AOI,zunifikowanie dokładności wykrywania na wszystkich liniach produkcyjnych.

2Litografia i proces pakowania

Regularna kalibracja ostrości obiektywu sprzętu i dokładności pozycjonowania platformy zmniejsza wady produkcyjne i poprawia spójność wydajności.

3. Sprzęt do badań probera

Płytka odniesienia do kalibracji współrzędnych stacji sond i weryfikacji płaskości platformy, zapewniająca precyzyjną dokładność badań elektrycznych płytek w produkcji półprzewodników.

4Kalibracja optyczna w laboratorium

Standardowe szkło kalibracyjne do maszyn do pomiaru widzenia i testerów konturów, stosowane do rutynowej weryfikacji dokładności przyrządów w laboratoriach metrologicznych.

Zalety w stosunku do zwykłego szkła i zwykłej arkuszy kwarcowej

W przeciwieństwie do zwykłych płyt szklanych i zwykłych płyt kwarcowych, ta płytka szklana z kwarcu kalibracyjnego charakteryzuje się precyzyjnie polerowanymi powierzchniami o ściśle kontrolowanej tolerancji płaskości.Wykazuje minimalne deformacje termiczne i utrzymuje stabilną precyzję po wielokrotnym czyszczeniu chemicznym, standardowa część kalibracyjna przeznaczona specjalnie do środowisk produkcji półprzewodników.